UltraFilm薄膜測量系統
UltraFilm薄膜測量系統是一款高精度的厚度均勻性測量設備,適用于各種材質薄膜。它采用創新的多傳感器融合測量技術,結合光譜反射、近紅外干涉以及高亮度光源驅動的光譜橢偏儀技術,是國內首款實現同質膜厚全自動檢測的系統。該系統在50um厚度雙拋玻璃片的實驗中,靜態精度表現為同點位多次連續測量的最大偏差值,而多次取放測量同點位數據的最大三倍標準差值,展現了其卓越的測量穩定性和重復性。
簡要描述:系統可以為各種材質薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創新的融合光譜反射技術、近紅外干涉技術以及高亮度光源驅動的光譜橢偏儀技術的多傳感器融合測量技術,是國內可以實現同質膜厚全自動檢測的系統。
*1:靜態精度或可稱為同點位多次連續測量的最大偏差值,數據為針對50um厚度雙拋玻璃片進行實驗的結果
*2:多次取放測量同點位數據的最大三倍標準差值,數據為針對50um厚度雙拋玻璃片進行實驗的結果