設備技術指標：
1、金屬真空室腔體:1套
1) 外形：304優質不銹鋼D形前后開門(后門采用鉸鏈式方門，方便清洗真空腔體，真空室內部調試，維修以及取放物品，前門采用橫拉方門)真空室腔體1套(真空室內部尺寸D400*480mm)，前后門配DN100視窗2套;
2) 底部：金屬源接口4套，國產600L/S風冷分子泵接口1套(真空室內部口采用遮板防塵)，CF25照明接口2套以及進口水冷膜厚探頭接口2套;
3) 頂部：樣品臺接口1套，電動擋板接口1套，KF16氣動角閥接口1套;
4) 左側： CF35氣動預抽角閥接口1套，KF16氣動放氣閥接口1套。
2、金屬蒸發源系統：1套
1) 金屬蒸發源4套(金屬室)：水冷
銅電極4組，兼容蒸發舟(鎢、鉬和鉭舟)和螺旋絲，免工具拆卸，配氣動擋板，1KW可控硅調壓電源4臺(一帶一)(數字顯示)，電流調整精度1A，功率滿足常見的金屬以及金屬氧化物的蒸鍍;
2) 隔板：蒸發源相互獨立，隔板分隔，避免交叉污。
3、樣品臺系統：1套
1) 基片旋轉：轉速0～30轉/分連續可調;
2) 基片升降：電動升降，襯底與蒸發源間距200-300mm通過觸摸屏連續可調;
3) 基片掛架：120×120 mm基片臺，承載最多25片15×15mm基片(或可根據客戶需求定做)，附掩膜板;
4) 基片水冷：φ180mm水冷臺，接入冷水機冷卻;
5) 基片擋板：電動擋板。
1) 國產600L/S風冷分子泵1臺;
2) 8L/S直聯旋片泵1臺;
3) CF150高真空氣動插板閥1臺;
4) CF35高真空氣動擋板閥1臺;
5) KF16高真空氣動擋板閥2臺;
6) KF40高真空氣動擋板閥1臺;
7) KF40真空電磁充氣閥1臺;
8) KF40泵閥連接軟管2套，KF40三通1套;
9) ZDF-5227數顯真空計1臺(測量范圍：1×105～1×10-5Pa)。
5、膜厚檢測系統：1套
1) 膜厚儀：美國infocon，SQM310兩通道石英晶振膜厚監控儀1臺，
2) 膜厚探頭：美國進口水冷膜厚探頭2套。
6、設備機架：1套
1) 40碳鋼方管焊接機架1套，表面噴塑;
2) 3英寸萬向輪4件，移動調整;
3) M16地腳4件，鎖緊定位。
7、其他電控系統：1套(電氣控制采用1.8米電控柜內置或集約機架式結構)
1) 金屬源電源：4臺(1帶1);
2) 烘烤照明電源：1臺;
3) 總控制電源(配7寸觸摸屏，PLC控制器，控制樣品臺，蒸發源，泵閥開關、相序檢測，以及電纜開關接頭等)：1臺。
8、其他技術參數：
1) 系統狀態檢測，誤操作保護，聯動互鎖以及一鍵真空啟停等功能;
2) 供電：～220V兩相供電系統(峰值5KW);
3) 供水：小型冷水機，冷卻水溫度5℃～35℃，工作環境溫度：10℃～40℃;
4) 供氣：小型無油靜音氣泵，提供0.2-0.3MPa氣壓，驅動氣動閥門;
5) 極限真空：優于6×10-5Pa，大氣至6×10-4Pa時間優于35分鐘(充干燥氮氣)，關機12小時真空度≤10Pa。
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湖南 - 衡陽
2025年04月11日 ~ 13日
