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    電阻式蒸發鍍膜設備

    電阻式蒸發鍍膜設備

    239
    規格/型號:暫無
    品牌:科誠
    應用領域:材料制備
    產地:遼寧 - 沈陽
    廠家/供應商:沈陽科誠真空技術有限公司
    咨詢電話::13998121527(請說明信息源自“中冶有色網”)
    更新時間:2025-03-28
    級別:待認證

    電阻式蒸發鍍膜設備說明介紹

    電阻式蒸發鍍膜設備

    電阻式蒸發鍍膜設備是一種利用電阻加熱原理使鍍膜材料蒸發,并在真空環境中沉積到基片表面形成薄膜的物理氣相沉積(PVD)設備。

    此設備主要通過電阻加熱的方式,實現鍍膜功能,一體式結構有效的節約空間。

    適用范圍:

    主要適用于制備金屬膜、介質膜、有機材料薄膜及掃描電鏡制樣等。

    該設備操作簡便,使用靈活,適合于高校及科研院所的教學與科研工作。

    1.采用機械泵與分子泵的抽氣系統,真空環境清潔。

    2.極限真空:≤5.0x10-5Pa 。

    3.恢復工作真空時間≤40min(≤6.0x10-4Pa)

    4.配置金屬蒸發源(鎢極),有機束源爐等;可在線測量膜層厚度。

    5.樣品可自轉,可實現無間隙在線掩膜2次;樣品可在線升降,以滿足最佳的鍍膜工藝要求。

    6.蒸發電源采用1帶二模式,電控切換。
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    沈陽科誠真空技術有限公司
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    所屬領域:
    材料制備
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