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    超導量子磁控濺射系統

    超導量子磁控濺射系統

    334
    規格/型號：德儀天力
    品牌：DE500DL
    應用領域：材料制備
    產地：北京 - 北京
    廠家/供應商：北京德儀天力科技發展有限公司
    咨詢電話:：010-67832716/17（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-04-01
    級別：待認證

    超導量子磁控濺射系統說明介紹

    超導量子磁控濺射系統

    DE500DL超導量子磁控濺射系統配備多個磁控濺射源，可沉積金屬、半導體、介質材料. 可用于濺射多層薄膜、共濺合金薄膜、反應濺射、LIFT-OFF工藝薄膜、隧道結薄膜等。是材料和薄膜沉積研發和中試的理想平臺。

    特點

    濺射距離可調

    PID下游和上游壓力控制

    良好的薄膜均勻性和重復性

    安全互鎖保護

    PLC和工控全自動控制

    可選離子束清洗或輔助沉積

    可選RF等離子體清洗

    主要配置

    鍍膜腔室 不銹鋼腔體

    真空泵 分子泵(或冷凝泵)和干泵

    真空閥門 高真空插板閥門

    真空測量 寬量程真空計

    濺射源 多個濺射源，直流、脈沖直流、射頻電源

    樣品臺 樣品臺旋轉加熱或冷卻

    氣體和壓力控制 多路氣體配流量計、PID控制壓力控制

    預真空樣品室 單基片或多基片裝載能力、全自動送樣

    主要技術指標

    鍍膜腔室極限真空度 優于9E-9Torr

    基片尺寸 可選：2英寸、4英寸、6英寸

    基片加熱和冷卻  可加熱至900℃和冷卻至-50℃，基片可自轉

    膜厚均勻性 優于+/-3%
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    超導量子磁控濺射系統
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    北京德儀天力科技發展有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    010-67832716/17
    詳細地址：
    -

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