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    > 多腔體磁控濺射系統

    多腔體磁控濺射系統

    多腔體磁控濺射系統

    385
    規格/型號：DE5000
    品牌：德儀天力
    應用領域：材料制備
    產地：北京 - 北京
    廠家/供應商：北京德儀天力科技發展有限公司
    咨詢電話:：010-67832716/17（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-04-01
    級別：待認證

    多腔體磁控濺射系統說明介紹

    多腔體磁控濺射系統

    特點

    適用于科研、中試和量產

    濺射室單靶或多靶

    金屬、介質材料濺射

    可選RF等離子體或離子源基片清洗

    可選基片氧化

    基片尺寸：可選：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

    真空度<5E-8Torr

    膜厚均勻性<±3%

    基片自動傳樣機構

    PLC+工控PC全自動控制

    可配EFEM適于FAB百級凈化間、無人車間
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    多腔體磁控濺射系統
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    北京德儀天力科技發展有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    010-67832716/17
    詳細地址：
    -

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