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    中試-量產 磁控濺射系統

    中試-量產 磁控濺射系統

    505
    規格/型號：DE700PVD
    品牌：德儀天力
    應用領域：材料制備
    產地：北京 - 北京
    廠家/供應商：北京德儀天力科技發展有限公司
    咨詢電話:：010-67832716/17（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-04-01
    級別：待認證

    中試-量產 磁控濺射系統說明介紹


    特點

    · 用于中試和量產

    · 多個濺射源

    · 可濺射金屬、半導體、介質材料及磁性材料

    · 可濺射單層膜、多層膜或共濺合金薄膜或反應濺射

    · PID下游或上游壓力控制

    · 可選離子源輔助沉積

    · 可選RF等離子體或離子源基片清洗

    · 可選基片氧化

    · 整套系統通過工控機和PLC實現全自動控制

    主要配置

    濺射腔體：不銹鋼腔體

    真空泵：分子泵(或冷凝泵)和干泵

    真空閥：高真空插板閥

    真空測量：寬量程真空計

    濺射源：多個磁控濺射陰極，可配DC、Pulse DC、RF、HIPIMS電源

    基片臺：基片可旋轉，可選加熱或冷卻

    壓力控制：多路氣體配流量計和壓力計，PID濺射壓力控制

    可選薄膜監控：晶振膜厚/速率監控

    可選預真空室：基片自動傳遞

    鍍膜室主要技術指標

    極限真空壓力：<9E-8Torr

    基片尺寸：可選：3英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

    可選基片加熱至：600℃

    片內膜厚均勻性：≤+/-3%

    片間膜厚重復性：≤+/-2%

    裝片能力

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    標簽：
    磁控濺射系統
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    北京德儀天力科技發展有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    010-67832716/17
    詳細地址：
    -

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