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設備名稱 Equipment name
管式低壓氧化退火設備 Horizontal Low Pressure Oxidation/Annealing Equipment
設備型號 Equipment Model
DOA-420/DOA-420L/DOA-420MAX
設備用途 Equipment Application
低壓氧化、退火。
Low Pressure oxidation, annealing.
技術特點 Features
1、大產能。
High throughput.
2、配套相關專利技術，可兼容或升級硼擴散工藝。
Patented technology, compatible or upgradeable with boron diffusion process.
3、獨特雙嵌套爐門結構。
Unique double-layer-nested furnace door structure.
4、高速平穩整體模組推舟機構。
High-speed and stable integral module boat pushing mechanism.
設備參數 Parameters
·最大兼容硅片尺寸:□230mm
·Max. Compatible Wafer Size:230mm
·單機管數:5管/6管
·Tube Configuration: 5 tubes/6 tubes
·單管裝片量Loading Capacity/Tube
機型Model：182□210
DOA-420：1600片/管(pcs/tube)、1600片/管(pcs/tube)
DOA-420L：2640片/管(pcs/tube)、2400片/管(pcs/tube)
DOA-420MAX：3288片/管(pcs/tube)、2860片/管(pcs/tube)
·單機產能Throughput
機型Model：TOPCon、PERC
□182、□210、□182、□210
DOA-420(6管/tubes)：4800片/小時(pcs/h)、4800片/小時(pcs/h)、9600片/小時(pcs/h)、9600片/小時(pcs/h)
DOA-420L(6管/tubes)：7900片/小時(pcs/h)、7200片/小時(pcs/h)、15850片/小時(pcs/h)、14400片/小時(pcs/h)
DOA-420MAX(6管/tubes)：9850片/小時(pcs/h)、8550片/小時(pcs/h)、19700片/小時(pcs/h)、17100片/小時(pcs/h)
·外形尺寸(mm，含地腳)Footprint(mm, incl.leveling foot)
DOA-420：9080x2165x4300(6管/tubes)、9080x2165x3790(5管/tubes)
DOA-420L：9888x2076x4400(6管/tubes)、9888x2076x3750(5管/tubes)
DOA-420MAX：10408x2240x4490(6管/tubes)、10408x2240x3885(5管/tubes)
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湖南 - 長沙
2025年08月07日 ~ 09日
