工作原理:
基于氦氣分子在真空中的擴散特性:通過向被檢工件充入氦氣,利用分子泵與機械泵構建的真空系統將泄漏的氦氣吸入質譜室,氦離子在180°非均勻磁場中實現精確分離,經美國AD放大器增強信號后,通過光電倍增管轉化為可量化的漏率數據。
應用范圍:
該設備廣泛應用于航空航天、半導體制造、核電及科研領域。
產品技術參數:
設備漏率顯示范圍覆蓋1×10?3至1×10?12Pa·m3/s,響應時間≤0.5秒,啟動時間≤3分鐘,檢漏口最高耐壓達1500Pa。配備德國進口分子泵與3L/s抽速機械泵,極限壓強可達5×10??Pa。設備采用550×450×880mm標準機箱設計,重量60kg,支持220V/50Hz電源輸入,工作溫度范圍5-45℃。
產品特點:
1. 搭載臺達7英寸全液晶觸摸彩屏,支持中英文界面切換;
2. 內置自動校準程序與標準漏孔,檢測精度誤差≤±5%;
3. 離子源燈絲提供3年質保,整機故障率低于0.3%;
4. 支持USB/RS232數據傳輸,可生成符合ASTM E498標準的檢測報告。