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    探針式輪廓儀

    探針式輪廓儀

    265
    規格/型號：Tencor? P-170
    品牌：KLA
    應用領域：檢測設備
    產地：上海 - 上海
    廠家/供應商：KLA Instruments?
    咨詢電話:：21-38178412（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-06-12
    級別：待認證

    探針式輪廓儀說明介紹

    Tencor® P-170探針式輪廓儀

    Tencor® P-170探針式輪廓儀


    Tencor P-170是一款自動化輪廓儀，可為生產環節提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，掃描范圍可達200毫米而無需拼接。Tencor P-170具有先進的圖形識別算法、增強的光學系統和先進的樣品臺，可實現穩定的性能和系統之間程式傳輸的無縫銜接 - 這是實現全天候生產的關鍵。

    產品描述

    Tencor P-170是一款自動化輪廓儀，具有行業領先的P-17的臺式系統測量性能和經HRP®-260生產驗證的機械手臂。這種組合為半導體、化合物半導體和相關行業提供了一種擁有基于機械手臂系統的低成本解決方案。Tencor P-170支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，掃描范圍可達200毫米且無需拼接。

    通過結合UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺，可實現出色的測量穩定性。使用點擊式樣品臺控制、頂視和側視光學元件以及具有光學變焦功能的高分辨率相機，可快速輕松地設置程式。Tencor P-170支持2D或3D測量，可使用多種濾波、調平和分析算法來測量表面形貌。全自動測量是通過自動晶圓處理、圖形識別、排序和特征檢測實現的。

    特征

    臺階高度：納米級到1000微米

    恒定力控制：0.03至15mg

    樣品的全直徑掃描，無需拼接

    視頻：5MP高分辨率彩色相機

    弧形校正：可消除探針的弧形運動引起的誤差

    軟件：簡單易用的軟件界面

    生產能力：全自動測量，具有測序、圖形識別和SECS/GEM功能

    晶圓傳輸機械手臂：自動加載直徑為75毫米到200毫米的不透明（例如硅）和透明（例如藍寶石）樣品

    應用

    臺階高度：2D和3D臺階高度

    紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

    形狀：2D和3D翹曲、形狀

    應力：2D和3D薄膜應力

    缺陷檢測：2D和3D缺陷表面形貌

    工廠

    半導體

    化合物半導體

    LED：發光二極管

    MEMS：微機電系統

    數據存儲

    汽車

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    探針式輪廓儀 輪廓儀 檢測設備
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    KLA Instruments?
    企業認證：
      
    所屬領域：
    檢測設備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    21-38178412
    詳細地址：
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