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    磁控濺射儀

    磁控濺射儀

    414
    規格/型號：暫無
    品牌：科睿設備
    應用領域：加工設備
    產地：上海 - 上海
    廠家/供應商：科睿設備有限公司
    咨詢電話:：13916855175（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-06-15
    級別：待認證

    磁控濺射儀說明介紹

    磁控濺射儀

    磁控濺射儀


    這是一款高性能的磁控濺射儀，適用于4英寸和6英寸襯底，具備4個靶位，靶材尺寸為3英寸，可濺射磁性材料。設備極限真空度低于6.6×10?? Pa，膜厚均勻性控制在±5%以內。靶與樣品距離可調，并可在30度內擺頭。配備load-lock系統，可放置5片6英寸樣品，電動馬達在高真空狀態下順序傳送并濺射樣品。樣品臺可加熱至750℃并支持旋轉，配備全自動真空控制模塊。氣路支持Ar、O?、N?，提供2個600W射頻電源和2個1000W直流電源，滿足多種薄膜制備需求。

    襯底尺寸：4'為主，6'兼容。

    濺射金屬膜厚均勻性要求：≤±5%。

    靶位：4個。

    極限壓力：<6.6×10-6e Pa。

    靶材尺寸：3英寸。

    可濺射磁性材料。

    靶與樣品距離可調，且可以在30度角度內擺頭。

    配置load-lock，可放置5片6英寸樣品，在高真空狀態下，由電動馬達分別傳送每片樣品，順序濺射每片樣品，逐一完成5片濺射鍍膜。

    樣品臺可加熱至750度，可旋轉。

    全自動真空度控制模塊。

    氣路：Ar、O2、N2。

    射頻電源：2個，每個600W。

    直流電源：2個，每個1000W

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    磁控濺射儀 加工設備
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    科睿設備有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    加工設備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    13916855175
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