工作原理
設備采用雙盤對稱布局設計,每個研磨盤配備獨立驅動電機與變頻調速系統,可實現0-1500rpm無級變速,適應不同材料與工藝要求。研磨過程中,樣品通過磁性吸盤或真空吸附固定于載物臺,通過升降機構調節壓力與接觸面積;雙盤可分別搭載不同粒度磨料(如碳化硅、金剛石拋光布),配合冷卻液循環系統,有效控制研磨溫度,避免樣品過熱變形或組織損傷,確保表面處理一致性。
應用范圍
覆蓋材料表面處理全流程:
金相制樣:快速去除金屬材料切割痕跡,為后續顯微觀察提供平整表面;
陶瓷加工:實現氧化鋁、氮化硅等脆性材料的高精度拋光,滿足透光性檢測需求;
半導體制造:對硅片、化合物半導體進行減薄與鏡面拋光,提升器件性能;
失效分析:修復斷裂件表面損傷,還原原始缺陷特征,輔助事故溯源。
技術參數
設備雙研磨盤直徑250mm,載物臺尺寸200×200mm,支持X/Y軸手動微調(行程50mm);主軸電機功率1.5kW×2,轉速范圍0-1500rpm連續可調;配備冷卻液噴淋系統,流量0-10L/min可調;整機尺寸800×700×900mm,重量約280kg,電源AC380V±10%。
產品特點
雙盤獨立控制技術可同步完成粗磨與精拋,加工效率提升50%;變頻調速系統適配不同硬度材料,避免低速抖動或高速飛濺;防濺罩與集液槽設計減少冷卻液外溢,保障操作環境清潔;模塊化結構支持快速更換研磨盤與載物臺,兼容平面、曲面樣品處理,是材料表面處理領域高效、靈活的解決方案。