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    > 芯片到芯片鍵合機

    芯片到芯片鍵合機

    芯片到芯片鍵合機

    256
    規格/型號：暫無
    品牌：科睿設備
    應用領域：檢測設備
    產地：上海 - 上海
    廠家/供應商：科睿設備有限公司
    咨詢電話:：852-2710-8200（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-06-15
    級別：待認證

    芯片到芯片鍵合機說明介紹

    芯片到芯片鍵合機

    芯片到芯片鍵合機


    在MEMS制造中，構建三維結構或封裝通常需要兩個單芯片的精確對準和鍵合。使用芯片到芯片鍵合器（CCB），可以手動對齊兩個芯片。然后可以使芯片接觸，以進行陽極鍵合或各種膠合過程。單芯片對準級包括三個線性軸和三個旋轉軸，為大多數對準應用提供了足夠的自由度。下芯片夾在基板上，上芯片由針固定。兩個真空保持器都可以單獨調節和切換。為了執行陽極鍵合過程，提供了加熱板和高壓源。在控制器單元上調節鍵合電壓，該控制器單元監測電壓和鍵合電流。加熱板的溫度也在控制器單元上進行調節。

    在MEMS制造中，構建三維結構或封裝通常需要兩個單芯片的精確對準和鍵合。

    使用芯片到芯片鍵合機，可以手動對齊兩個芯片。然后可以使芯片接觸，以進行陽極鍵合或各種膠合過程。單芯片對準級包括三個線性軸和三個旋轉軸，為大多數對準應用提供了足夠的自由度。

    下芯片夾在基板上，上芯片由針固定。兩個真空保持器都可以單獨調節和切換。

    為了執行陽極鍵合過程，提供了加熱板和高壓源。在控制器單元上調節鍵合電壓，該控制器單元監測電壓和鍵合電流。加熱板的溫度也在控制器單元上進行調節。

    該設備專為研究機構設計，可適應您的特殊應用。

    技術指標:

    芯片尺寸：最大25 x 25毫米----最小3 x 3毫米

    芯片夾緊機構：真空

    加熱卡盤

    最高溫度：520°C

    加熱板尺寸：40 x 40毫米

    真空夾緊孔：?1.5 mm

    加熱功率：200 W

    溫度控制器：Jumo

    溫度傳感器：PT100

    針夾持上切屑

    真空孔：?1.6mm

    高壓電源

    電壓：可調200至1500 V DC

    功率：最大1.5W

    顯示器：電壓和電流模擬

    透明卡盤（可選）

    尺寸：40 x 40毫米

    真空夾緊孔：?1.5 mm

    可調節范圍

    X和Y范圍：對于加熱板，25mm，刻度步長10μm，->靈敏度2μm

    Z范圍：真空針，25mm，刻度步長10μm，->靈敏度2μm

    旋轉：360°，靈敏度0.01°

    傾斜度：±4°，靈敏度0.005°

    安裝要求：電源230V AC，真空，顯微鏡

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    芯片到芯片鍵合機 加工設備
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    科睿設備有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    檢測設備
    企業性質：
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    852-2710-8200
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