設備介紹
KJ-1200T-S6015LK1-H系列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/min,是低成本快速熱處理的理想爐子。
適用范圍
退火爐是一款精巧型快速熱處理管式爐, 是CVD法生長大尺寸二維
石墨烯的常用設備,它是專為半導體或
太陽能電池基片的退火而設計,計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線??稍谡婵詹煌瑲夥湛諝獠煌h境下,對樣品進行快速熱處理,主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室,如:薄膜沉積,不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
產品優勢
雙層殼體 安全防燙
節能型的陶瓷纖維材料和雙層結構,可將外表溫度降到常溫
爐管材質可選
爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料
可快速加熱和冷卻
爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/m
紅外燈管加熱 升溫速率快
采用紅外燈管加熱,最快升溫速度為 50°C/秒
氣密性好 可重復拆卸
該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封,可重復撤卸,氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉
智能控溫 帶安全預警
30段PID微電腦可編程自動控制,具有超溫和斷偶保護功能
技術參數
產品名稱 單管滑動式快速退火爐
產品型號 KJ-1200T-S6015LK1-H
爐管尺寸
Φ60mmX1500mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)
溫區長度
440mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)
工作溫度
≤1100℃
最高溫度
1200℃
溫控系統
30段PID微電腦可編程自動控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示)
控溫精度
±1℃
溫控保護
具有超溫和斷偶保護功能
加熱速率
0~10℃/min
加熱元件
電阻絲
氣 密 性 4.03×10-3Pa
爐膛材料
采用日本進口爐膛材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強
滑軌尺寸 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌滑動長度:1200mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)
法蘭接頭
標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥。
密封系統
該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉。
爐 管 可選氣煉石英爐管、剛玉爐管
測溫元件
N型熱電偶測溫
售后服務 12個月質保、終身保修