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    RTP真空快速退火爐

    RTP真空快速退火爐

    326
    規格/型號:KJ-TRTP1000
    品牌:鴻爐機械
    應用領域:材料制備
    產地:河南 - 鄭州
    廠家/供應商:河南鴻爐機械設備有限公司
    咨詢電話::17737149370(請說明信息源自“中冶有色網”)
    更新時間:2025-06-17
    級別:待認證

    RTP真空快速退火爐說明介紹

    RTP真空快速退火爐

    設備介紹

    真空RTP退火爐是一款真空度比較高的快速熱處理管式爐,配有石英腔體和真空法蘭,采用鹵素燈加熱,升溫速度可達50℃/秒,PID自動控制,30段可編程序,它是專為半導體或太陽能電池基片的退火而設計。該高溫退火管式爐可在真空、氣氛環境下,對樣品進行快速熱處理,主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室,如:薄膜沉積,不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。

    產品優勢

    鹵素燈加熱 升溫速度快

    加熱元件采用鹵素燈加熱,升溫速度可達50℃/秒

    底部滑軌設計 實現快速冷卻

    爐子的底部安裝有一對滑軌,可使爐子從爐管的一側滑動到另一側,以實現快速加熱和快速冷卻

    30段高精度數字可編程

    30段高精度數字可編程溫度控制器,控溫精度高,可達±1℃

    技術參數


    產品名稱 RTP 快速退火爐

    工作溫度 900℃

    控 制 器 LED(可選配LCD觸屏)

    爐 膛 開啟式 滑道式

    爐管尺寸 根據需求尺寸定制

    加熱元件 鹵素燈

    升溫速率 ≤50℃/S

    熱 電 偶 根據實際需要設計來配

    溫度控制器 30段高精度數字可編程溫度控制器

    特殊要求

    具體細節可根據客戶需求定制(詳情歡迎來電咨詢我們)

    1、可定制真空系統

    2、可定制氣路系統

    3、其他特殊工藝需求
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    所屬領域:
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    17737149370
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