升華爐

設備介紹

爐膛分為三個獨立單元，均可獨立控溫，控溫系統選用10英寸工控觸摸屏，可設置5個控溫段落，升溫降溫均可設置程序控制，控溫精度±1℃，數據實時顯示和記錄，并能通過U盤導出csv表格形式?？商崆霸谟|摸屏系統內設定好溫度曲線、襯底移動的條件和時間、爐膛打開散熱的條件等整個工藝流程參數，裝好樣品后，關上法蘭。通過一鍵操作，設備可自動完成三個溫區的加熱和樣品移動等所有功能。進氣閥和流量的控制、真空泵和真空度的控制均可在觸摸屏上直接操作，觸摸屏界面模擬顯示動作過程。亦可實現半自動功能，由人工分步驟操作設備自動運行。

產品優勢

自動控制流程

可提前在觸摸屏系統內設定好整個工藝流程參數，通過一鍵操作，設備可自動完成三個溫區的加熱和樣品移動等所有功能

智能控溫系統

控溫系統選用10英寸工控觸摸屏，可設置5個控溫段落，升溫降溫均可設置程序控制，控溫精度±1℃

風冷散熱系統

加熱結束后爐膛均可通過按鈕控制前后自動分開成兩半，管子暴露在室溫環境下，底部風扇強制風冷對其散熱

超溫報警功能

具有自動連續PID調節、超溫報警、斷偶指示等功能

數據可存儲導出

數據實時顯示和記錄，并能通過U盤導出csv表格形式，數據可存儲三個月

可抽真空通氣氛

抽真空度大氣到≤5Pa小于5min，設定真空度自動保持，可通多種氣氛

技術參數

加熱爐部分

爐膛模式 前后移動開啟式爐膛(三個工藝爐膛)

顯示模式 10英寸觸摸屏

加熱元件 短紅外波燈管，上下水平面獨立加熱

工作溫度 ≤800℃

升溫速率 5～10℃/s

襯底移動 有，速度可調

溫區長度 200mm(恒溫區100*100mm) (更多尺寸可根據客戶需求定制)

快速降溫 ≥1℃/S

爐管規格 Φ150*1400mm (更多尺寸可根據客戶需求定制)

控溫精度 ±1℃

密封方式 快速法蘭密封

超溫報警 有

過流保護 有

斷偶提示 有

測溫元件 N型熱電偶

爐膛材料 氧化鋁纖維

傳動機構

樣品移動 伺服電機驅動推桿帶動襯底移動

運行軌道 石英管內設計有雙層軌道

推桿移動速度 可調

導軌水平度 ≤1mm/m

推桿定位誤差 ≤1mm

防撞措施 超力矩自動急停，脫鉤

蒸發距離 襯底下平面和源上平面間距最小2mm,且可根據需要調節

速度誤差 ≤0.5%

真空與氣氛

抽真空能力 大氣到≤5Pa小于5min，設定真空度自動保持

氣壓范圍 10-3Pa～105Pa，機械泵極限≤5Pa

氣路系統

3路進氣

不銹鋼混合罐(帶指針式壓力表)

超壓保護(≥1atm)，根據設定壓力值自動排氣

控制系統

半自動運行 手動按鈕，電動運行

全自動運行 顯示整個工藝流程且一鍵操作

溫度數據存儲 可存儲數據

數據導出 U盤導出csv格式數據

工藝曲線 設備端觸摸屏顯示實時曲線并記錄