D-600探針式輪廓儀/臺階儀
Alpha-StepD-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。D-600還支持2D和3D的粗糙度測量，以及用于研發和生產環節的2D翹曲度和應力測量。D-600包含一個帶有200毫米樣品載臺的電動樣品臺和具有增強影像控制的高級光學器件。
產品描述
Alpha-StepD-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量，以及翹曲度和應力的2D和3D測量。創新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量、大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量，與材料特性無關?？烧{節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。
主要功能
●臺階高度：幾納米至1200μm
●低觸力：0.03至15mg
●視頻：500萬像素高分辨率彩色相機
●梯形失真校正：可消除側視視圖造成的失真
●圓弧校正：可消除由于探針的弧形運動引起的誤差
●緊湊的尺寸：系統占用面積小
●軟件：用戶友好的軟件界面
主要應用
●臺階高度：2D和3D臺階高度
Alpha-StepD-600探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D和3D臺階。這能夠對蝕刻、濺射、沉積、旋涂、化學機械研磨和其他工藝等沉積或去除的材料厚度進行量化。Alpha-Step系列能夠提供微力測量，可以測量軟材料，例如光刻膠。
●紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
可量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件中的過濾器將測量結果分為粗糙度和波紋度兩部分，并計算出均方根、粗糙度等參數。
●形狀：2D和3D翹曲和形狀
可以測量樣品表面的2D形貌或翹曲度。這包括元件制造過程中不同工藝層材料不匹配導致的晶圓表面翹曲度的測量，例如半導體或化合物半導體器件生產中的多層沉積。D-600還可以測量彎曲結構（例如透鏡）的高度和曲率半徑。
●應力：2D和3D薄膜應力
能夠測量在生產具有多個工藝層的器件（例如半導體或化合物半導體器件）期間產生的應力。使用應力載臺將樣品支撐在中間位置以精確測量樣品的翹曲度。應力是先測量諸如薄膜沉積等工藝導致的晶圓表面形貌變化，然后運用Stoney公式計算得到的。
適用行業
●大學，實驗室和研究所
●半導體和化合物半導體
●LED：發光二極管
●太陽能板
●MEMS：微機電系統
●汽車
●醫療設備
●還有更多：請與我們聯系并探討您的要求
選配件
探針選項
Alpha-StepD-600提供多種探針用于測量臺階高度、高寬深比臺階、粗糙度、樣品翹曲度和應力。探針針尖的半徑從100納米到50微米不等，這決定了測量的橫向分辨率。探針角度從20到100度不等，這決定了所測量特征的高寬比。所有探針都采用金剛石制造，以減少磨損和增加其使用壽命。
樣品載臺
Alpha-StepD-600可提供各種載臺，用于支持不同應用需求。標準載臺是一個鍍
鎳的
鋁制真空載臺，適用于直徑長達200毫米的樣品。還提供通用真空載臺，并包括用于50毫米至200毫米樣品精確定位的定位銷。兩個選項都支持通過3點定位器進行應力測量，從而將樣品保持在中間位置，以進行精確的翹曲度測量。
防震臺
Alpha-StepD-600提供桌面式和獨立防震臺兩種選項。GraniteIsolator?系列提供將花崗巖和高品質硅膠墊結合在一起的桌面式防震臺，來提供被動防震。Onyx系列桌面防震系統使用氣動式防震臺來提供被動防震。TMC63-500系列防震臺是一種使用氣動式防震臺來提供被動防震獨立鋼架臺。
臺階高度標準片
Alpha-StepD-600采用VLSI提供的NIST可追蹤的薄膜和厚膜臺階高度標準片。該標準片在石英片上制造了一個氧化物臺階?？商峁?納米至250微米的臺階高度標準片。
Apex分析軟件
Apex分析軟件具備調平、濾波、臺階高度、粗糙度和表面形貌分析技術，增強了D-600的標準數據分析能力。Apex支持ISO粗糙度計算方法以及當地標準，例如ASME。Apex還可以作為報告編寫平臺，能夠添加文本、說明和通過/失敗標準。Apex支持11種語言。
離線分析軟件
Alpha-StepD-600離線軟件具有與該機臺相同的數據分析功能。這使用戶能夠在不占用機時的情況下分析數據。
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2025年07月09日 ~ 11日
