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    顯微膜厚測量儀

    顯微膜厚測量儀

    344
    規格/型號：F40
    品牌：納騰
    應用領域：檢測設備
    產地：上海 - 上海
    廠家/供應商：上海納騰儀器有限公司
    咨詢電話:：021-6428 3335（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-07-07
    級別：待認證

    顯微膜厚測量儀說明介紹

    F40顯微膜厚測量儀

    F40顯微膜厚測量儀


    KLA的Filmetrics系列利用光譜反射技術實現薄膜厚度的精確測量，其測量范圍從nm-mm，可實現如光刻膠、氧化物、硅或者其他半導體膜、有機薄膜、導電透明薄膜等膜厚精確測量，被廣泛應用于半導體、微電子、生物醫學等領域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款產品，可測量從幾mm到450mm大小的樣品，薄膜厚度測量范圍1nm到mm級。F40用于測量光斑<1μm的薄膜膜厚。

    測量原理-光譜反射

    光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質，半導體，和金屬薄膜的厚度和折射率。兩者的主要區別在于橢偏儀測量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測量從薄膜垂直反射的光。光譜反射儀測量的是垂直光，它忽略偏振效應（絕大多數薄膜都是旋轉對稱）。因為不涉及多種移動設備，光譜反射儀成為簡單低成本的儀器。光譜反射儀可以很容易整合加入更強大透光率分析。光譜反射儀通常是薄膜厚度超過10um的首選，而橢偏儀側重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之間，兩種技術都可用。而且具有快速，簡便，成本低特點的光譜反射儀通常是更好的選擇。

    主要應用

    測量厚度、折射率、反射率和穿透率：

    單層膜或多層膜疊加

    單一膜層

    液態膜或空氣層

    技術能力

    光譜波長范圍：190-1700nm

    厚度測量范圍：1nm-250μm

    測量n&k小厚度：50nm

    準確度：取較大值，1nm或0.2%

    精度：0.02nm

    穩定性：0.05nm

    光斑大?。盒】蛇_0.5μm

    樣品尺寸：直徑從1mm到300mm或更大

    半導體薄膜：光刻膠、工藝薄膜、介電材料

    液晶顯示：OLED、玻璃厚度、ITO

    光學鍍膜：硬涂層厚度、減反涂層

    高分子薄膜：PI、PC

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    顯微膜厚測量儀 膜厚測量儀 檢測設備
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    上海納騰儀器有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    檢測設備
    企業性質：
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    聯系電話：
    021-6428 3335
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