HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀
簡介
Auto SE是一款集成了液晶調制技術和反射式微光斑的全自動快速橢偏儀,具備高重復性和信噪比,適用于多種樣品的快速薄膜測量與質量控制。其一鍵式操作界面簡化了數據處理流程,同時提供自動MAPPING掃描功能以評估樣品鍍膜均勻性。該設備兼容200mm×200mm樣品臺,覆蓋450-1000nm光譜范圍,適合科研與工業生產中的非均勻及圖案化樣品測試需求。
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產品介紹:
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕,幾秒鐘內即可自動完成樣品測量和分析,并提供完整的薄膜特性分析報告,包括薄膜厚度、光學常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。它是用于快速薄膜測量和器件質量控制的解決方案。專為薄膜測量設計,一鍵式操作實現高效率。
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產品特點:
可在450nm~1000nm波長內實現快速測量(<1秒)
多種光斑尺寸軟件選擇
自動裝載和調整樣品高度(需自動平臺)
大面積自動成像(需自動平臺)
密封氣體池、透過率曲線測量等多種附件
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產品優勢:
光斑可視系統:HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀具備MyAutoView光斑可視系統,可清晰觀察光滑或粗糙的樣品表面,保證用戶可將測量光斑準確定位在樣品目標上的測量位置。
大樣品成像選項:HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀配備自動平臺,方便定位測量樣品上微結構的位置,可對不均勻大樣品片進行mapping成像。
智能診斷:HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀儀器維護非常簡單,借助完整的操作向導,自動檢測并診斷問題,對故障進行處理
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產品測量原理:
HORIBA Auto SE 橢偏儀是利用薄膜的光學特性進行膜厚測量的非接觸測量方法?;谄窆夥瓷浠蛲干鋾r的狀態變化來測量薄膜的厚度和折射率。當偏振光照射到薄膜表面時,反射光或透射光的偏振狀態會發生變化,這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態和角度。通過分析這些變化,可以準確地推導出薄膜的厚度。
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀軟件:
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀軟件DeltaPsi2功能強大,它基于WindowsT操作系統,充分利用了HORIBA Scientific(JobinYvon光譜技術)橢偏儀硬件技術的優勢,具有眾多的建模和擬合處理功能,以及簡單的操作界面,可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。
梯度膜層
粗糙度或界面
材料組份/結晶度
各向異性膜層
薄膜厚度的不均勻性
退偏因子
與材料模型公式相關的完整的屬性數據庫
對于厚透明樣品基底背景光的自動修正
周期變化結構
用戶超薄薄膜應用的BLMC算法
多重猜測、多重初值、多重模型、相關性……