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    石墨烯生長爐PECVD設備

    石墨烯生長爐PECVD設備

    181
    規格/型號：KJ-T1200-S60LC-H2
    品牌：鴻爐機械
    應用領域：材料制備
    產地：河南 - 鄭州
    廠家/供應商：河南鴻爐機械設備有限公司
    咨詢電話:：17737149370（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-07-24
    級別：待認證

    石墨烯生長爐PECVD設備說明介紹

    石墨烯生長爐PECVD設備

    設備介紹

    KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統、質量流量計氣路系統、等離子電源系統組成。數字質量流量控制系統是由多路質量流量計，流量顯示儀等組成，實現氣體的流量的精密測量和控制;爐管連接部分采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷;管路采用世界卡套連接，不漏氣;觸屏操作，操作簡單方便。這款PECVD等離子沉積設備可適用于石墨烯生長等。

    產品優勢

    成品質量好

    具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點

    更好的沉積效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化學氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩定性

    真空可達10Pa

    真空系統由旋片真空泵和進口數顯真空計組成，最高真空可達10Pa

    技術參數

    產品名稱 石墨烯生長爐PECVD設備

    開啟式滑軌管式爐部分

    產品型號 KJ-T1200-S60LC-H2

    爐管尺寸 直徑60mm*長度1600mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)

    加熱區長度 300mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)

    工作溫度 ≤1100℃

    最高溫度 1200℃

    溫控方式 N型熱電偶

    控制方式 溫度控制系統采用觸屏操作，人工智能調節技術，具有 PID 調節、自整定功能并可編制 30 段升降溫程序;

    控溫精度 ±1℃

    溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能

    升溫速率 建議≤10℃/min

    加熱元件 含鉬電阻絲

    爐膛材料 氧化鋁多晶纖維

    密封系統 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸，氣密性好。

    爐體結構 滑軌結構，可以實現快速降溫

    爐 管 石英爐管

    真空系統部分

    名稱 真空系統

    主要參數

    采用旋片真空泵和進口數顯真空計組成，真空度可達10Pa

    名稱 四路質量流量計

    主要參數 四通道精密質量流量計：觸屏控制，數字顯示。

    進出氣口：4進1出

    等離子電源部分

    名稱 500W等離子電源

    功率范圍 0-500W(連續可調)

    工作頻率 13.56MHZ+0.005%

    冷卻方式 風冷

    售后服務 整機質保一年，終身保修(加熱元件、密封圈等隨機贈送配件不屬于質保范圍)
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    石墨烯生長爐PECVD設備 石墨烯生長爐
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    河南鴻爐機械設備有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    17737149370
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