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    > 混氣管式PECVD系統

    混氣管式PECVD系統

    混氣管式PECVD系統

    164
    規格/型號：KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S
    品牌：鴻爐機械
    應用領域：材料制備
    產地：河南 - 鄭州
    廠家/供應商：河南鴻爐機械設備有限公司
    咨詢電話:：177-3714-9370（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-07-29
    級別：待認證

    混氣管式PECVD系統說明介紹

    混氣管式PECVD系統

    設備介紹

    KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S多路混氣管式PECVD系統，由KJ-T1200單溫區管式爐、真空系統、質子流量計、射頻電源系統系統組成?；鞖夤苁絇ECVD系統是為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，環境溫度在100-300℃，但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應物的活性，這些具有反應活性的中性物質很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發生非平衡的化學反應沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)。

    產品優勢

    成品質量好

    PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點

    沉積效果好

    等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜

    微電腦PID控制器，操作簡便

    操作簡便，控溫準確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復雜的試驗過程，真正實現自動控制和運行

    高真空分子泵組，性能卓越

    性能可靠：整體型復合轉子，強度高、性能穩定; 潔凈無油：采用脂潤滑精密陶瓷軸承，無油蒸汽污染

    法蘭采用雙環密封技術

    有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。

    技術參數

    管式爐系統

    爐管尺寸 直徑60mm(更多規格可按照客戶要求定制)

    加熱區長度 440mm(更多規格可按照客戶要求定制)

    工作溫度 ≤1100℃

    最高溫度 1200℃

    加熱元件 電阻絲

    爐膛材質 采用高純氧化鋁纖維爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強

    控溫方式 智能化30段可編程控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示)

    真空系統

    高真空分子泵組，高真空復合真空計

    采用KF25系列波紋管和真空擋板閥連接

    質子流量計

    高精度質量流量計可準確的控制氣體流量

    出氣真空壓力表，內置氣體混氣系統，

    不銹鋼針閥計管道，標準雙卡套接頭

    射頻電源系統

    輸出功率 50-500W可調±1%

    售后服務 12個月質保、終身保修
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    混氣管式PECVD系統 管式PECVD系統
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    河南鴻爐機械設備有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
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    -
    聯系電話：
    177-3714-9370
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