設備介紹
KJ-T1200-S50-3Z迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃。配有三路質量流量計混氣氣路,配有
真空泵真空可達10pa,準確的PID程序多段程序控溫,本系列高溫CVD設備適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等試驗。
產品優勢
PID多段程序控溫
控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
高純石英爐管
爐管采用高純石英材質,耐高溫耐酸堿腐蝕,透明材質方便觀察樣品反應情況
加熱效率高
加熱元件采用含鉬合金加熱絲,加熱速率快,耐高溫、抗氧化耐腐蝕
技術參數
型號 KJ-T1200-S50-3Z
爐管直徑 Φ50mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)
加熱區 200mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)
溫度溫度 最高1200℃,工作溫度≤1100℃
加熱速率 建議≤10℃/min
控溫精度 ±1℃
加熱元件 含鉬電阻絲
控制方式 PID智能化多段程序控溫
爐管材質 石英管
氣路系統
三路質量流量計:手動智能控制,數字顯示,;
1.MFC 1-MFC3:0-500sccm可調
2.3個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側,可手動控制3種氣體;
3.進出氣口:3進1出
真空系統 真空泵,抽速2.2L/S,真空度可達10pa,真空度數顯示在數顯真空計上
注意事項
· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全
· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態
· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
· 石英管的長時間使用溫度<1100℃
對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)
質保 質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)