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    小型CVD管式爐

    小型CVD管式爐

    336
    規格/型號:KJ-T1200-S50-3Z
    品牌:鴻爐機械
    應用領域:材料制備
    產地:河南 - 鄭州
    廠家/供應商:河南鴻爐機械設備有限公司
    咨詢電話::177-3714-9370(請說明信息源自“中冶有色網”)
    更新時間:2025-07-29
    級別:待認證

    小型CVD管式爐說明介紹

    小型CVD管式爐

    設備介紹

    KJ-T1200-S50-3Z迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃。配有三路質量流量計混氣氣路,配有真空泵真空可達10pa,準確的PID程序多段程序控溫,本系列高溫CVD設備適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等試驗。

    產品優勢

    PID多段程序控溫

    控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃

    高純石英爐管

    爐管采用高純石英材質,耐高溫耐酸堿腐蝕,透明材質方便觀察樣品反應情況

    加熱效率高

    加熱元件采用含鉬合金加熱絲,加熱速率快,耐高溫、抗氧化耐腐蝕

    技術參數

    型號 KJ-T1200-S50-3Z

    爐管直徑 Φ50mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)

    加熱區 200mm(其他尺寸可根據客戶需求定制)

    溫度溫度 最高1200℃,工作溫度≤1100℃

    加熱速率 建議≤10℃/min

    控溫精度 ±1℃

    加熱元件 含鉬電阻絲

    控制方式 PID智能化多段程序控溫

    爐管材質 石英管

    氣路系統

    三路質量流量計:手動智能控制,數字顯示,;

    1.MFC 1-MFC3:0-500sccm可調

    2.3個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側,可手動控制3種氣體;

    3.進出氣口:3進1出

    真空系統 真空泵,抽速2.2L/S,真空度可達10pa,真空度數顯示在數顯真空計上

    注意事項

    · 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

    · 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全

    · 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

    · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

    · 石英管的長時間使用溫度<1100℃

    對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

    質保 質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)
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    所屬領域:
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