三維原子探針
這臺三維原子探針(APT、3DAP)是目前具有最高3D空間分辨率的分析技術,主要用于研究納米尺度的微結構(如析出相、團簇、GP區)以及界面上元素的偏聚行為,能夠以原子級別的分辨率給出金屬、半導體、陶瓷、地質和生物等材料內部的三維成分分布。設備參數包括分析倉真空度約10?11 Torr,樣品臺最低溫度25 K,空間分辨率0.1 nm,最高脈沖頻率500 kHz,激光能量范圍1-1000 pJ。功能配置包括電壓脈沖和激光脈沖工作模式、真空低溫傳輸模塊、高頻發生器、數據處理工作站系統以及實時初步三維重構功能,能夠滿足高精度的三維成分分析需求。
主要用途
三維原子探針(APT、3DAP)是目前具有最高3D空間分辨率的分析技術,擅長研究納米尺度的微結構(析出相、團簇、GP區)以及界面上元素的偏聚行為,可對金屬、半導體、陶瓷、地質和生物等材料以原子級別的分辨率給出材料內部的三維成分分布。
項目介紹
設備參數/指標
l 分析倉真空度:~10-11 Torr
l 樣品臺最低溫度:25 K
l 空間分辨率:0.1 nm
l 最高脈沖頻率:500 kHz
l 激光能量:1-1000 pJ
功能配置
l 電壓脈沖和激光脈沖工作模式
l 真空低溫傳輸模塊
l 高頻發生器
l 數據處理工作站系統
l 實時初步三維重構