工作原理
設備采用遠心鏡頭與高分辨率工業相機(像素精度達0.1μm),通過LED平行光源投射至被測工件表面,形成清晰無畸變的影像。系統搭載自主開發的AI圖像算法,可自動識別工件輪廓、邊緣及特征點,并結合亞像素級邊緣提取技術,實現微米級尺寸測量。運動控制模塊由高剛性大理石平臺與直線電機驅動,支持X/Y/Z三軸聯動,定位重復性≤0.5μm。檢測過程中,用戶可通過PC端軟件或觸摸屏設置測量程序,系統自動完成工件定位、圖像采集、數據分析及報告生成全流程。
應用范圍
覆蓋多行業精密檢測需求:3C電子領域可測量手機玻璃蓋板、攝像頭模組的平面度與孔位精度;汽車工業用于檢測發動機活塞、齒輪的齒距與鍵槽尺寸;半導體行業支持晶圓劃片槽寬度、芯片引腳共面性等參數的批量篩查。設備兼容金屬、塑料、陶瓷及玻璃等多種材質,支持最大300×200mm工件的在線或離線檢測。
技術參數
測量范圍:X/Y軸0-300mm,Z軸0-150mm(可擴展)
重復精度:±0.5μm(2σ值)
圖像分辨率:500萬像素,支持0.1μm像素當量
檢測速度:單工件測量時間≤2秒(含圖像處理)
光源系統:可調環形光、同軸光及背光源,適配不同表面工件
產品特點
高效智能:一鍵啟動自動測量,支持多工件批量檢測與SPC統計分析;
精準穩定:大理石基座與氣浮隔振設計,消除環境振動干擾;
操作便捷:內置200+種標準測量模板,支持CAD圖紙導入與自動比對;
擴展性強:開放API接口,可對接MES/ERP系統,適配自動化生產線。