權利要求書： 1.一種掃描電鏡裝置，其特征在于，包括：電子槍(300)，設置在電子真空腔室內用于產生檢測分析需要的電子；掃描電鏡(100)，設置在所述電子槍(300)的電子出口處用于調整電子的活動軌跡；還包括樣品臺(200)，用于放置需要進行檢測分析的晶圓；所述掃描電鏡(100)包括第一目鏡腔室(120)和第二目鏡腔室(130)，所述第一目鏡腔室(120)和所述第二目鏡腔室(130)內分別設置有調節電壓以使得穿過所述第一目鏡腔室(120)和所述第二目鏡腔室(130)的電子能夠轟擊到所述樣品臺(200)上。
2.根據權利要求1所述的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述掃描電鏡(100)還包括測試腔室(140)和放樣腔(150)，所述放樣腔(150)與所述測試腔室(140)并排放置，所述放樣腔(150)與所述測試腔室(140)之間設置有連接閥(160)。
3.根據權利要求2所述的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述放樣腔(150)遠離所述測試腔室(140)的側面上設置有連接孔和推桿(240)，所述連接孔用于供所述推桿(240)穿過，所述推桿(240)位于所述放樣腔(150)內的一端與所述樣品臺(200)連接，使得所述樣品臺(200)能夠在所述推桿(240)的推拉下進行移動。
4.根據權利要求3所述的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述樣品臺(200)包括連接塊(220)、放樣盤(210)和彈簧片(230)，所述放樣盤(210)一側與所述連接塊(220)連接，所述放樣盤(210)周側設置有與所述彈簧片(230)連接的厚度超過所述放樣盤(210)的卡片(231)，所述彈簧片(230)一端與所述卡片(231)連接，另一端設置在所述連接塊(220)內。
5.根據權利要求4所述的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述測試腔室(140)內設置有用于連接所述樣品臺(200)的測試載臺(141)，所述測試載臺(141)包括連接臺(142)和設置在所述連接臺(142)側面上的導軌(143)和連接銷(144)，所述連接銷(144)和所述連接塊(220)上的連接孔(221)配合連接并基于所述連接銷(144)的長度將所述樣品臺(200)設置到電子能夠轟擊到的位置。
6.根據權利要求4所述的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述電子真空腔室(110)、所述第一目鏡腔室(120)、所述第二目鏡腔室(130)和所述測試腔室
聲明：
“掃描電鏡裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：威科賽樂微電子股份有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
