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    傳送桿及掃描電鏡

    1214   編輯:中冶有色網   來源:業成科技(成都)有限公司  
    2024-06-12 15:12:32
    權利要求書: 1.一種傳送桿,其特征在于,包括:載體;夾取裝置,設置在所述載體上,所述夾取裝置包括固定部、活動部以及推桿,所述固定部固定設置在所述載體上,所述活動部可轉動地設置在所述載體上,所述推桿與所述活動部轉動連接,所述推桿相對所述活動部轉動的軸線與所述活動部相對所述載體轉動的軸線之間不同軸;第一驅動裝置,設置在所述載體上,所述推桿用于接收所述第一驅動裝置的施力,以便推動所述活動部相對于所述載體轉動,用于驅動所述夾取裝置動作,以便使所述夾取裝置夾緊或松開樣品臺;第二驅動裝置,與所述載體相接,用于驅動所述載體在第一方向和第二方向上運動,以便帶動所述夾取裝置在所述第一方向和所述第二方向上運動,使得所述夾取裝置可以伸入或退出掃描電鏡的真空倉,其中所述第一方向和所述第二方向相反。2.根據權利要求1所述的傳送桿,其特征在于,所述載體包括第一管體,所述夾取裝置設置在所述第一管體的第一端,所述第一驅動裝置設置在所述第一管體內,所述第二驅動裝置與所述第一管體的第二端相接。3.根據權利要求2所述的傳送桿,其特征在于,所述夾取裝置包括:固定部,與所述第一管體的第一端固定連接;活動部,與所述第一管體的第一端轉動連接,所述第一驅動裝置用于驅動所述活動部相對所述第一管體轉動,從而使所述活動部靠近所述固定部或遠離所述固定部,進而實現對樣品臺的夾緊或松開。4.根據權利要求3所述的傳送桿,其特征在于,所述推桿穿設在所述第一管體內,并與所述活動部轉動連接,其中,所述推桿相對所述活動部轉動的軸線與所述活動部相對所述第一管體轉動的軸線之間不同軸;所述推桿用于接收所述第一驅動裝置的施力,以便推動所述活動部相對于所述第一管體轉動。5.根據權利要求4所述的傳送桿,其特征在于,所述第一驅動裝置包括電磁鐵,所述電磁鐵設置在所述第一管體內,所述電磁鐵通電后能夠驅動所述推桿在所述第一方向上運動,進而使所述活動部相對于所述第一管體轉動;及/或所述載體還包括第一支撐環,所述第一支撐環的外壁與所述第一管體的內壁緊配合,所述推桿穿設在所述第一支撐環內,并可在所述第一方向和所述第二方向上相對所在第一支撐環運動。6.根據權利要求5所述的傳送桿,其特征在于,所述第一驅動裝置還包括彈性件,所述推桿在所述第一方向上運動時會對所述彈性件施力,使所述彈性件產生形變,以便在所述電磁鐵
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