權利要求書： 1.一種半導體芯片的掃描電鏡裝置，其特征在于，包括：電子槍；聚焦組件，設置于所述電子槍的電子束的發射端；承載平臺，位于所述聚焦組件聚焦處理后的電子束所在的直線路徑上，所述承載平臺用以承載晶圓，所述晶圓上布置多個芯片；檢測探頭組，包括多個檢測探頭，所述檢測探頭組位于所述承載平臺的一側，以收集所述芯片激發的電子信號；以及弧形基座，安裝所述檢測探頭組，所述弧形基座的凹部開口朝向所述承載平臺。2.根據權利要求1所述的半導體芯片的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述弧形基座所在的平面與所述承載平臺所在的平面平行。3.根據權利要求1所述的半導體芯片的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述弧形基座呈半圓環形狀，電子束所在直線路徑與弧形基座的對稱中心所在平面重合。4.根據權利要求3所述的半導體芯片的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述檢測探頭組包括第一類檢測探頭，所述第一類檢測探頭安裝于所述弧形基座的中間位置處。5.根據權利要求4所述的半導體芯片的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述檢測探頭組還包括第二類檢測探頭，所述第二類檢測探頭安裝于所述弧形基座的兩端位置處。6.根據權利要求4或5所述的半導體芯片的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述檢測探頭組還包括第三類檢測探頭，所述第三類檢測探頭安裝于所述弧形基座所在弧線路徑的1/4和3/4位置處。7.根據權利要求4所述的半導體芯片的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述第一類檢測探頭固定安裝于所述弧形基座上，所述檢測探頭組內其余的檢測探頭滑動安裝于所述弧形基座上。8.根據權利要求1所述的半導體芯片的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述半導體芯片的掃描電鏡裝置還包括支撐座，所述檢測探頭組中每一檢測探頭分別安裝于一所述支撐座上，所述支撐座滑動安裝于所述弧形基座上。9.根據權利要求8所述的半導體芯片的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述弧形基座上設置有弧形基座線圈，所述支撐座上設置有支撐座線圈，所述弧形基座線圈和所述支撐座線圈磁性配合。10.根據權利要求1所述的半導體芯片的掃描電鏡裝置，其特征在于，所述聚焦組件包括會聚透鏡、掃描線圈和物鏡，所述會聚透鏡、所述掃描線圈和所述物鏡沿著電子束照射的方向依次布置。 說明書： 一種半導體芯片的掃描電鏡裝置技術領域[0001] 本實用新型涉及半導體
聲明：
“半導體芯片的掃描電鏡裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：合肥晶合集成電路股份有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
