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    硫系多元合金靶材及其制造方法

    845   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:33:13
    本發明公開了一種硫系多元合金靶材及其制造方法，所述靶材包括的化學元素及其質量分數為：鍺10?30％，砷20?40％，硒30?50％，硅0?10％，碲0?10％；所述靶材的相對密度≥99.5％，氧含量低于150ppm。所述制造方法首先在真空條件下合成高純度合金，再采用高速噴嘴氣霧化制球形粉末，合金快速凝固成玻璃態，同時增氧很小，最后采用真空熱壓或者放電等離子體燒結實現高致密燒結成形，燒結過程中不存在污染問題。采用本發明制備的硫系多元合金靶材的綜合性能好，組織性能優異，密度高，氧含量低。
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