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    氧化鋅鎂靶材及制備方法

    994   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:34:11
    本發明公開了一種氧化鋅鎂靶材及制備方法，屬于半導體光電材料、磁控濺射鍍膜和粉末冶金燒結技術領域。方法包括以下步驟：按設計組分別取ZnO和MgO粉末原料；采用分段球磨、濕法制坯、分段脫脂、分段燒結、機加工、磨制等工藝，對粉末原料進行處理；按本發明提出的方法，可獲得一種致密度高、純度有保障、無缺陷、晶粒均勻且細小、不容易開裂的氧化鋅鎂靶材成品。
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    聲明：
    “氧化鋅鎂靶材及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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