本發明涉及一種涉及多晶硅的提純,尤其是一種電泳輔助的太陽能級多晶硅提純方法。其步驟為:將硅塊放置于石墨坩堝中,開啟中頻爐感應加熱至工業硅完全熔化;保持溫度,加入造渣劑進行造渣除硼和金屬雜質;造渣完成后,開啟真空熔煉爐進行真空熔煉除磷和金屬雜質;向硅液中施加直流電壓,使金屬雜質富集;最后進行定向凝固,得到6N級太陽能級多晶硅。本發明采用了造渣、真空熔煉和電泳相結合的方法進行除雜,成本低、環境友好且提純效果明顯。
聲明:
“電泳輔助的太陽能級多晶硅提純方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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