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    粉末冶金擴散焊接靶材

    798   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 14:36:25
    本實用新型公開了一種粉末冶金擴散焊接靶材,靶材結構為粉末冶金靶材/Mo或Mo合金背板,或為粉末冶金靶材/過渡層/Mo或Mo合金背板,各層間均為擴散焊接。所述粉末冶金靶材的材質為W或W合金、Cr或Cr合金、Ru或Ru合金;所述過渡層的材質為Ti或Ti合金、Mo或Mo合金,厚度為0.1~5mm;所述的背板Mo合金為Mo-W、Mo-Ta或Mo-Ti。本實用新型的粉末冶金擴散焊接靶材,焊接后靶材組件整體變形小、不開裂,靶材的可靠性高;焊接抗拉強度高,焊合率高,能夠滿足大功率濺射鍍膜的使用需求。
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