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    降低冶金級硅太陽能電池暗電流的擴散工藝

    1070   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:36:45
    本發明公開了一種降低冶金級硅太陽能電池暗電流的擴散工藝，第一步進行低溫濃磷擴散，在較低溫度下，通入高濃度磷源進行擴散，形成高濃度磷摻雜；第二步進行高溫長時間磷吸雜，在較高溫度下使鐵、碳、硼、氧等雜質的沉淀態雜質、替位態雜質或者其它雜質復合體釋放成間隙態雜質，間隙態的雜質快速擴散到高固溶度的磷硅玻璃層中，完成高溫磷吸雜，提升體少子壽命；第三步低溫推進，在較低溫度下，推進結深、并調整至工藝要求的方塊電阻；并且隨著溫度的降低表面濃磷區域雜質固溶度降低，使間隙態的雜質轉變成沉淀態、復合體等形態的雜質。采用本發明擴散工藝對冶金級晶體硅片進行擴散，可以有效降低太陽電池的暗電流，提高太陽電池的轉換效率。
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    “降低冶金級硅太陽能電池暗電流的擴散工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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