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    鋁鈦鈮三元合金靶材及其制備方法

    806   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:45:27
    一種鋁鈦鈮合金靶材及其制備方法，該鋁鈦鈮靶材由以下原子百分比的原料制成：鋁50%~75%；鈦25~40%；鈮0.5~25%。本發明還包括鋁鈦鈮合金靶材的粉末熱壓燒結和真空熱處理方法。本發明利用鋁、鈦、鈮之間原子擴散實現冶金結合，在溫度和壓力的共同作用下，獲得致密度高的鋁鈦鈮三元合金靶材，是一種短流程、易操作的粉末冶金靶材生產過程。
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