本發明公開了一種基于非晶材料的高性能薄膜壓力傳感器,包括一個受力支撐座,一個焊接在所述受力支撐座底部凹槽內的應變彈性膜片,一個固定于所述受力支撐座內部的轉換電路板,其特征在于,所述應變彈性膜片是采用大片非晶材料通過真空鍍膜工藝在其上形成敏感電阻構成惠斯通電橋電路,使用機械沖壓或激光切割的辦法而分離的彈性體。由于彈性體材料采用了非晶材料,其楊氏模量比17-4PH彈性體材料小很多,傳感器靈敏度系數得到提高。另外,由于采用大片非晶材料批量化生產彈性體,生產效率高,生產成本低,并保留了薄膜壓力傳感器的優良性能,產品在機械、石化、汽車、食品、制藥、冶金等領域得到廣泛應用。
聲明:
“基于非晶材料的高性能薄膜壓力傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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