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    化學氣相沉積設備

    1084   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:45:35
    本發明涉及高熔點金屬(難熔金屬及貴金屬)化學氣相沉積制備所用的專用設備。設備由3部分組成:(一)主體結構;(二)動力傳動裝置;(三)氣體調配系統。主體部分結構由5個功能部件組成,分別為:沉積室(I),密封室(II),蝸輪箱(III),升降操縱箱(IV),熱電勢信號接轉裝置(V)。本發明在于實現基體沉積件在高溫、高真空或多種氣氛(氬氣、氧氣、氯氣、一氧化碳以及甲烷等)條件下,按設定參數進行材料的沉積,基體可進行軸向圓周、螺旋以及自動循環運動。輸入溫度、氣氛壓力和流量均可精確控制。所制備的難熔金屬和貴金屬材料的致密性達到或接近理論密度,硬度(耐磨性)超過熔鑄和粉末冶金法生產的同類材料。
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    聲明：
    “化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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