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    用于真空磁控濺射粉紅色金靶材及其制備方法

    749   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:46:01
    一種用于真空磁控濺射粉紅色金靶材及其制備方法，屬于有色金屬冶金技術領域，用于真空磁控濺射粉紅色金靶材成分按重量百分比含Au82.0~95.0%，Pd0.5~7.0%，Fe0.3~4.0%，Cu0.5~3.0%，Cr0.1~3.0%，In0.05~1.0%；方法按以下步驟進行：（1）準備原料；將Au加熱熔化，將Pd放入熔化的Au中，互熔后依次加入Fe、Cu、Cr和In；（2）將金屬熔體攪拌均勻，然后加熱至1200~1300℃，保溫3~5min進行精煉；（3）澆注到預熱的模具中，空冷至常溫，獲得鑄坯；（4）銑面、軋制、退火、剪切和校平。本發明的粉紅色金靶材應用于鍍膜技術中，可獲得色澤均勻、抗氧化性抗硫化性好、表面硬度高、耐磨性好的粉紅色膜層，具有廣闊的應用前景。
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