本發明公開了一種提高Si3N4陶瓷與鈦合金焊接性能的表面處理方法,包括以下步驟:步驟a,利用雙輝等離子表面冶金技術在鈦合金表面制備鎳合金層;步驟b,利用離子注入技術在Si3N4陶瓷表面注入Ti離子;步驟c,將經步驟a處理后的鈦合金表面及經步驟b處理后的Si3N4陶瓷表面在真空擴散焊設備中實現焊接。本發明以雙輝等離子表面冶金技術和離子注入技術為手段,能夠實現Si3N4陶瓷與不同鈦合金的真空擴散焊接,大幅度提高真空擴散焊在Si3N4陶瓷/鈦合金焊接工藝中的應用。
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