一種TI-SI-N納米涂層的制備方法,屬于工、模具涂層的制備方法,解決現有反應磁控濺射法所制備涂層在工作環境下易于脫落的問題,實現過渡層與涂層之間的冶金結合,從而提高涂層的力學性能。本發明包括:(1)預處理步驟;(2)濺射清洗步驟;(3)離子滲氮步驟;(4)制備過渡層步驟;(5)制備表面層步驟。本發明生產效率高、成本低,制備的涂層與金屬陶瓷刀具基體的臨界載荷LC≥65N,表面顯微硬度HV≥3400,適于制作用于高速干式銑削不銹鋼、鐵基高溫合金、高強結構鋼、耐磨鑄鋼和玻封合金等難切削材料的涂層刀具,在汽車、航空、航天和能源裝備等制造行業具有很好的推廣應用前景。
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