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    在表面上預先固定半導體芯片的方法、制造半導體器件的方法和半導體器件

    836   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 14:46:17
    說明了一種用于在表面(20)上固定半導體芯片(10)的方法,其中在所述半導體芯片(10)的安裝面上施加焊料連接(30),在所述焊料連接(30)的背離安裝面的側上施加金屬粘接層(40),將所述表面(20)預熱到溫度T1,將所述金屬粘接層(40)以固態與經過預熱的表面(20)機械接觸,其中所述金屬粘接層(40)在與經過預熱的表面(20)機械接觸時至少部分熔化,然后將所述表面(20)冷卻至室溫,其中所述半導體芯片(10)至少部分冶金地預先連接到所述表面(20),其中所述焊料連接(30)在所述金屬粘接層(40)冶金連接到所述表面(20)期間保持固態。在所述焊料連接(30)和所述金屬粘接層(40)之間可以施加阻擋層(50)。所述表面(20)可以包括印刷電路板或殼體的安裝面。此外還說明了一種用于制造半導體器件的方法以及一種半導體器件,其中將如上所述預先固定在所述表面(20)上的半導體芯片(10)焊接到所述表面(20)上以形成最終得到的焊料連接(60),其中在所述焊接時完全熔化所述焊料連接(30)和所述金屬粘接層(40),并且形成最終得到的焊料連接(60),所述最終得到的焊料連接包括在其組成方面與所述焊料連接(30)和所述金屬粘接層(40)不同的合金。如果存在阻擋層(50),則阻擋層在焊接期間同樣溶解并且在最終得到的焊料連接(60)內形成相。
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