本發明公開了一種摻雜的氮化鋁鈧靶材及其制備方法和應用,將氮化鋁粉末、氮化鈧粉末和R源粉末混合,獲得混合料,混勻料制坯、均溫處理獲得坯料,坯料后處理,即得氮化鋁鈧靶材,所述R源粉末中的R選自選自除鈧以外的16種稀土元素中的一種;所述混勻料中,R的原子百分比為0.01~10%;所述R源選自金屬R或選自金屬R和R的氮化物粉末。所述制備方法,通過在原料中引入稀土和/或稀土氮化物,采用粉末冶金成型的方法,利用稀土和稀土氮化物的協調變形作用,有利于氮化鋁鈧在高溫狀態下變形和致密化,最終實現制備得到高致密化的氮化鋁鈧靶材。氮化鋁鈧靶材作為濺射靶材制備壓電薄膜,成膜質量高,薄膜性能穩定。
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