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    用于氣瓶MOCVD沉積鎳的油浴裝置及生產方法

    1050   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 14:50:12
    本發明公開了一種用于氣瓶MOCVD沉積鎳的油浴裝置及生產方法,屬于羰化冶金生產領域,解決了加熱溫度的不均勻導致的鎳層厚度的不均勻的問題。本發明包括串聯在導熱油管道上的氣瓶加熱室、導熱油泵和導熱油加熱器,氣瓶加熱室內安裝有至少一個待沉積氣瓶。方法包括以下步驟:將氣瓶安裝在氣瓶加熱室內,氣瓶內通入氮氣進行壓力測試;氣瓶內通入CO氣體進行壓力測試和CO氣體置換;開啟導熱油泵和導熱油加熱器,導熱油循環不斷對氣瓶進行加熱;向氣瓶內通入羰基鎳和CO的混合氣體,在導熱油的加熱條件下,進行MOCVD沉積鎳。本發明通過油浴對氣瓶進行均勻加熱,使氣瓶中所形成的鍍鎳層均勻、致密、光滑。
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