本發明提供了一種鋁合金靶材及其制備方法,所述制備方法包括:按照靶材的元素比例進行金屬單質粉末的混合,將混合后的粉末裝入包套中進行冷壓成型;然后將包套進行焊接、脫氣;將脫氣后的包套進行一次熱等靜壓處理,得到成型靶坯;將成型靶坯進行真空熱處理,然后再次裝入包套進行焊接、脫氣;將脫氣后的包套進行二次熱等靜壓處理,得到鋁合金靶材。本發明所述方法采用粉末冶金法來制備合金靶材,通過采用粉末混合、冷壓、兩次熱等靜壓處理,以及兩次熱等靜壓之間進行的熱處理,有助于合金靶材中組織結構的優化,使得晶粒組織細小且分布均勻,不存在成分偏析,致密度高,機械加工性能優良,能夠滿足濺射用靶材的使用要求。
聲明:
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