本發明涉及一種利用熱等離子法制備球形納米硅的方法,屬于硅冶金及材料制備技術領域。先將工業級氣體或混合氣通入等離子體發生器,引弧得到熱等離子體,將微米級含硅粉料通過載氣進入熱等離子高溫區域得到氣態硅原子及其他氣態粒子,氣態硅原子及其他氣態粒子在急速冷卻過程中得到納米顆粒尺寸為1~100nm球形形貌納米硅,其中微米級含硅粉料為微米級硅粉、氧化硅粉、氮化硅粉或碳化硅粉。本方法采用硅粉、氧化硅粉、氮化硅粉、碳化硅粉含硅粉料作為原料,相較現有技術中以成本較高的硅烷為主要含硅原料,本發明所用原料成本更低、工藝安全性更高等優勢。
聲明:
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