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    高精度薄膜壓力傳感器

    896   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:51:06
    本發明公開了一種高精度薄膜壓力傳感器，包括圓形膜片，支撐座，彈性體，傳力柱和外殼，其特征在于：彈性體是采用濺射薄膜技術制造的，當所述圓形膜片受到壓力作用時，均勻分布的壓力通過所述傳力柱集中并傳遞到所述彈性體的中心梁上，彈性體上的四個應變電阻阻值發生變化，惠斯電橋失去平衡。由于將分散力集中作用在彈性體上，傳感器的靈敏度系數提高，非線性誤差減小，傳感器綜合精度得到提高。另外，受力膜片與彈性體之間通過傳力柱接觸，彈性體對溫度的敏感性降低，傳感器能在更低溫或更高溫的環境下工作，拓展了傳感器的工作溫度范圍。產品在軍工、機械、石化、汽車、食品、制藥、冶金等領域得到廣泛應用。
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    聲明：
    “高精度薄膜壓力傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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