本發明提供了一種互不固溶金屬的直接鍵合連接工藝。通過對鉬和銅表面進行前處理,疊合后準確選擇加壓退火時的溫度,使退火溫度接近于銅的熔點溫度,實現了鉬/銅兩種金屬之間的擴散和界面上的冶金結合,成功獲得了鉬/銅之間的高強度連接,連接強度達到了203MPa,滿足性能要求。本發明不采用中間金屬層,可避免第三方元素對材料性能的影響,簡化了工藝,提高了連接效率。本發明的關鍵在于采用接近于互不固溶金屬中低熔點金屬一方熔點的溫度進行鍵合退火。
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“互不固溶金屬的直接鍵合連接工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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