本發明屬于有色金屬靶材制備技術領域,具體涉及了一種軋制加工鎢鈦合金靶材的制備方法。該方法以W粉與TiH2粉末為原料,依次經混合、壓坯、預燒、燒結、包套、軋制、熱處理步驟,最終得到所述鎢鈦合金靶材。本發明采用將W粉與TiH2粉末混合后壓制成型,壓坯經過預燒還原和高溫真空燒結,坯料帶包套進行軋制的工藝;壓坯經過預燒還原可以有效地降低坯料中的雜質含量和氧含量,再經高溫真空燒結,可得到高純度鎢鈦合金坯料;坯料帶包套后可以在大氣氣氛加熱爐內進行加熱,避免坯料中Ti元素的加熱氧化現象,保證軋制加工的順利進行;最終得到靶材致密度可達到99.6%以上,厚度尺寸可控,工藝簡單且適合大批量工業化生產。
聲明:
“軋制加工鎢鈦合金靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)