本發明公開了一種碲硒砷鎘化合物/靶材及制備方法,由摩爾比為(60?90):(0.999?39.99):(0.001~0.01)的碲化鎘顆粒、碲硒鎘顆粒和砷化鎘顆粒研磨成粉、混勻,將混勻的物料裝入石墨坩堝中,或者將混勻的物料放入模具中室溫壓片成靶材坯,壓片成形的靶材坯裝入石墨治具內,石墨治具放入真空燒結爐內,在真空燒結爐內壓實,真空狀態加熱燒結,自然降溫至室溫,打開真空燒結爐即得到碲硒砷鎘化合物/靶材。上述制備方法能夠適應市場規?;a需求,工序簡單、環境友好。制備出的碲硒砷鎘化合物結晶度好,制備出的碲硒砷鎘靶材相對密度高于90%(晶粒尺寸小于300nm)。
聲明:
“碲硒砷鎘化合物、靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)