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    減小大尺寸反應燒結碳化硅內應力的工藝

    1007   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 14:58:01
    本發明公開了一種減小大尺寸反應燒結碳化硅內應力的燒結工藝,包括如下步驟:提供一真空燒結爐,真空燒結爐設有多組加熱器,待燒結的坯體置于多組加熱器中間;用碳化硅粉通過凝膠注模工藝并脫脂制成碳化硅素坯;將一定質量的硅放到碳化硅素坯試樣上,然后一起放入真空燒結爐中按照設定的程序進行燒結,本發明通過控制硅的凝固方向,減小反應燒結碳化硅坯體內因硅的凝固膨脹而產生的內應力。該工藝可以使硅凝固時的體積膨脹不會集中到坯體某一部分,而且體積膨脹有釋放的通道,即硅的凝固膨脹不受約束,消除其在坯體內產生的應力。
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