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    基于表面快速熱處理高純致密氧化鎂靶材的制備方法

    948   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:58:01
    本發明提供一種基于表面快速熱處理高純致密氧化鎂靶材的制備方法，包括以下步驟：以氧化鎂粉末為原料，以氧化鋯球為介質，對原料進行行星球磨，研磨后的粉末進行200目篩分；將篩后粉末進行冷等靜壓成型得到氧化鎂壓坯；將氧化鎂壓坯進行真空燒結，真空燒結結束后，根據所需靶材尺寸進行進行表面精密機加工至靶材表面粗糙度≤0.8μm，得到氧化鎂靶材；將氧化鎂靶材進行表面研磨，然后進行清洗，最后在真空條件下用連續波激光熱處理法、掃描電子束法或非相干寬帶頻光源法進行表面快速熱處理，得到基于表面快速熱處理高純致密氧化鎂靶材。本發明制備的氧化鎂靶材純度高、致密度好、表層與內層組織一致，且制備方法簡單，工期短，綠色環保節能。
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    聲明：
    “基于表面快速熱處理高純致密氧化鎂靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    真空冶金
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