本發明公開了一種制造用于受激準分子激光的合成石英玻璃的方法,該方法通過如下方式來制造上述合成石英玻璃:在靶上沉積氧化硅顆粒以形成多孔氧化硅母材,所述氧化硅顆粒通過使氧化硅原材料在真空燒結爐中的氫氧焰中氣相水解或氧化分解得到;將所述多孔氧化硅母材玻璃化;并對玻璃化的材料進行熱成型、退火處理及氫摻雜處理,其中多孔氧化硅母材的玻璃化包括:(a)在400℃以上、且低于900℃的溫度范圍,將真空壓力保持在20.0Pa以下的步驟;(b)在900℃以上、且低于1100℃的溫度范圍,將真空壓力保持在10.0Pa以下的步驟;及(c)在1100℃至透明玻璃化溫度的溫度范圍,將真空壓力保持在3.0Pa以下的步驟。
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