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    平板顯示器觸摸屏用鋁稀土合金旋轉濺射靶材的制備方法及其制備靶材

    1006   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:58:02
    本發明公開了一種平板顯示器觸摸屏用鋁稀土合金旋轉濺射靶材的制備方法及其制備靶材，其制備方法包括以下步驟：粉末制備，冷等靜壓，真空燒結，熱等靜壓，機械加工，銦綁定。該方法工藝簡單，操作方便，在熱等靜壓時，不需要常規的包套及氬弧焊，減少后續工序，可大靶管直接進行熱等靜壓，降低生產成本。本方法制備的鋁稀土合金旋轉濺射靶材成分均勻，長度可達到4000mm或更長，靶管厚度可達到25mm，靶材相對密度≥99.9％，純度≥99.99％，晶粒尺寸小于30微米，所制備的旋轉靶材屬于高端旋轉靶材，可以運用到更為廣泛的領域。
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    “平板顯示器觸摸屏用鋁稀土合金旋轉濺射靶材的制備方法及其制備靶材” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    真空冶金
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